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硅基多层薄膜体声波生化传感器关键技术及应用研究

  • 申请号： 申请公布号：
  • 申请日： 申请公布日： 2017-01-17
  • 申请（专利权）人：BI698440326 专利代理机构：
  • 分类号：

专利介绍

研究多层薄膜体声波传感器，在厚度剪切振动模式的频率温度特性以及温度补偿机理；对传感敏感膜为粘弹性材料时，研究多层薄膜体声波传感器的声波能量分布，探究敏感膜表面质点振幅和谐振品质因子随敏感膜粘弹性质的变化规律。

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